dataphysics 表面性質分析儀 - 大昌華嘉科學儀器 - 台灣大昌華嘉科學儀器 ─ DKSH

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DataPhysics Instruments 提供範圍廣泛的測量設備，用於分析表面和界面的化學和物理特性。

產品範圍包括光學接觸角測量和輪廓分析系統、動態接觸角測量設備和表面張力儀，以及用於液體分散體的旋滴張力計和分析系統，根據不同應用，能配置不同的配件達到測量目的，例如濕度產生器，因此，可以輕鬆找到量身定制的測量設備和配成組合，以應對您實驗室中對於表面和界面測量挑戰。

OCA – 接觸角測量儀

結合高分辨率光學、精準液體劑量與樣品定位，提供全方位的接觸角與界面分析方案。系統支持靜態與動態接觸角測量、固體表面能分析、懸滴法測定表面與界面張力，並具備全自動樣品映射功能，讓表面特性評估更高效、精準

控制晶圓表面的潤濕性
精確的接觸角量測技術以評估與控制晶圓表面的潤濕性，確保光刻、薄膜沉積等後續製程的均勻性與可靠度。透過量測晶圓不同區域的接觸角，以檢測薄膜的均勻性並檢測表面清潔度有效提升製程良率，優化晶圓表面改質製程，增進半導體元件的性能與可靠性。

OCA 產品全系列接觸角測定原理

ZPA 20 – 固體表面 Zeta 電位分析儀

DataPhysics ZPA 20 固體表面 Zeta 電位分析儀具快速、多功能測量特性，專利雙向振盪技術避免極化效應，提供高精度數據。開放式設計支持並行測試及定制化分析，自動 pH 調節功能提升測試效率，滿足材料特性研究需求。

化學機械平坦化（CMP）
漿料（slurry）的 Zeta 電位直接影響磨料顆粒的分散穩定性和與晶圓表面的相互作用。高絕對值的 Zeta 電位可防止顆粒聚集，確保研磨均勻，提升製程效率，並調整漿料的 pH 值以改變 Zeta 電位，使其與晶圓表面電荷相匹配，可減少顆粒吸附，降低表面缺陷，提升產品良率。

ZPA 20 產品介紹