dataphysics 表面性質分析
DataPhysics Instruments 提供範圍廣泛的測量設備,用於分析表面和界面的化學和物理特性。
產品範圍包括光學接觸角測量和輪廓分析系統、動態接觸角測量設備和表面張力儀,以及用於液體分散體的旋滴張力計和分析系統,根據不同應用,能配置不同的配件達到測量目的,例如濕度產生器,因此,可以輕鬆找到量身定制的測量設備和配成組合,以應對您實驗室中對於表面和界面測量挑戰。
OCA – 接觸角測量儀
結合高分辨率光學、精準液體劑量與樣品定位,提供全方位的接觸角與界面分析方案。系統支持靜態與動態接觸角測量、固體表面能分析、懸滴法測定表面與界面張力,並具備全自動樣品映射功能,讓表面特性評估更高效、精準
控制晶圓表面的潤濕性
精確的接觸角量測技術以評估與控制晶圓表面的潤濕性,確保光刻、薄膜沉積等後續製程的均勻性與可靠度。透過量測晶圓不同區域的接觸角,以檢測薄膜的均勻性並檢測表面清潔度有效提升製程良率,優化晶圓表面改質製程,增進半導體元件的性能與可靠性。
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ZPA 20 – 固體表面 Zeta 電位分析儀
DataPhysics ZPA 20 固體表面 Zeta 電位分析儀具快速、多功能測量特性,專利雙向振盪技術避免極化效應,提供高精度數據。開放式設計支持並行測試及定制化分析,自動 pH 調節功能提升測試效率,滿足材料特性研究需求。
化學機械平坦化(CMP)
漿料(slurry)的 Zeta 電位直接影響磨料顆粒的分散穩定性和與晶圓表面的相互作用。高絕對值的 Zeta 電位可防止顆粒聚集,確保研磨均勻,提升製程效率,並調整漿料的 pH 值以改變 Zeta 電位,使其與晶圓表面電荷相匹配,可減少顆粒吸附,降低表面缺陷,提升產品良率。
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應用領域
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Why Dataphysics?
精準測量極小區域
多樣劑量系統,可產生低至10奈升或30皮升液滴
全自動測量
電子高性能軸,樣品台可在三軸空間高速、精準移動
多種配件組合
模組化設計讓您可依實驗階段定制升級
高解析度影像技術
快速捕捉和分析液滴形狀,提供準確的數據支持
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